Filtros avançados IGS de montagem em superfície com vedação tipo C para sistemas de gás semicondutor ultrapuros
Descrição
Os filtros de montagem em superfície (SMT) da HENGKO são projetados para atender aos exigentes requisitos de sistemas de gás integrados usados em ferramentas OEM de semicondutores. Oferecendo filtragem líder do setor em 0,003 µm, esses filtros garantem desempenho e confiabilidade excepcionais com uma eficiência de interceptação de partículas de ≥99,9999999% (9-LRV) a 120 slpm.
Fabricados com aço inoxidável 316L robusto, sinterizado em pó para o elemento filtrante e a carcaça, esses filtros atendem às especificações SEMI F86-0304, apresentando componentes de duas portas projetados para sistemas de distribuição de gás de 1,125” com configuração de vedação em C. Suportam pressão máxima de entrada de 3,4 MPa a 100 °C e diferencial de pressão operacional máximo de 0,69 MPa a 100 °C.
Esses filtros especializados, compatíveis com as especificações de vedação tipo C e tipo W, garantem a limpeza a jusante com a liberação de partículas.
Com acabamento superficial de Ra< 1,6 µm na superfície externa e RaCom porosidade inferior a 0,13 µm na parte interna, esses filtros são projetados para suportar altas temperaturas de até 460 °C. Projetados para fácil integração e atualizações de design modular, eles simplificam a instalação e a manutenção, ajudando a otimizar o desempenho do sistema em aplicações de fornecimento e controle de gases em semicondutores.
Funcionalidade do produto
▶ Construção totalmente em aço inoxidável 316L
▶ Design miniaturizado, estrutura compacta, economiza espaço
▶ Excelentes características de substituição e dessorção de gases
▶ Resistente a altas temperaturas, altas pressões e corrosão
▶ Carcaça em aço inoxidável 316L eletropolido
▶ Instalação e manutenção fáceis e eficientes
▶ Vedação mecânica, estruturalmente não soldada ao meio
Ficha de dados
| Parâmetros técnicos | Valores |
|---|---|
| Material do elemento filtrante | Pó sinterizado de aço inoxidável 316L |
| Material de construção | Aço inoxidável 316L |
| Pressão máxima de entrada | 3,4 MPa a 100 °C |
| Diferencial Operacional Máximo | 0,69 MPa a 100°C |
| Taxa de vazamento de hélio na verificação | 1x10⁻¹¹ cc/min |
| Taxa de vazamento do teste de hélio | 1x10⁻⁹ cc/min |
| Tratamento de superfície | Ra da superfície externa< 1,6 μm |
| Superfície interna Ra< 0,13 μm | |
| Temperatura máxima de operação | 460°C |
| Eficiência de Interceptação de Partículas | ≥99,9999999% (9-LRV) a 120 slpm (MPPS de referência, todas as partículas) |
| Limpeza a jusante | Liberação de partículas:< 0,03 partículas/litro (< 1 partícula/pé³) |
| Substâncias voláteis:< 10 ppb de umidade | |
| Tamanho de interceptação de partículas | ≥0,003 μm |
| Faixa de fluxo | 0 ~ 120 escorrimentos por minuto |
Tamanho
Aqui está o número da peça que você pode encomendar e os detalhes de tamanho:
| Modelo do produto | Taxa de fluxo | Altura H (mm) | Precisão de Filtração | Nível de limpeza |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 slpm | 51,6 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 slpm | 82,9 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 slpm | 126,2 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 slpm | 167,9 | 0,003 μm | C |
Aplicações típicas
Para uso com sistemas modulares de distribuição de gás de montagem em superfície de 1,125” e 1,5” com vedação W e C.
Envie-nos a sua mensagem:
