Pedra porosa dos difusores da câmara do metal da pureza alta de HENGKO para a filtragem do gás da pureza alta ao semicondutor
Os difusores de metal poroso HENGKO liberam rapidamente as câmaras de vácuo para a atmosfera, o que diminui o tempo de ciclo e aumenta o rendimento.Nossos difusores de aço inoxidável fornecem fluxos de gás uniformes e laminares sem perturbar partículas na câmara.Esses difusores de metal poroso também removem partículas maiores que 0,1 µm do gás que entra, minimizando defeitos no wafer.
Os difusores de aço inoxidável podem suportar pressões operacionais mais altas e manter a integridade do produto – a vida útil mais longa do setor.E, para resistência à corrosão superior à do níquel, use difusores de alta pureza HENGKO.
Formulários
Os difusores de metal poroso HENGKO são usados em aplicações de ventilação em câmaras de bloqueio de carga, câmaras de transferência, câmaras de resfriamento e câmaras de processo de interfaces de equipamentos semicondutores (CVD, PVD, Etch, Epi) ou outras câmaras de vácuo
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