Filtros Semicondutores

Filtros de gás semicondutor:

Garantindo a pureza impecável do gás na fabricação de chips

No intrincado mundo da fabricação de semicondutores, onde a precisão e a pureza são fundamentais, a qualidade dos

os gases utilizados desempenham um papel crítico na determinação do sucesso do processo. As impurezas, mesmo em níveis infinitesimais,

pode causar estragos nos delicados circuitos dos microchips, tornando-os defeituosos e inutilizáveis. Para salvaguardar

Neste processo crítico, os filtros de gás semicondutores permanecem como guardiões inflexíveis, removendo meticulosamente os contaminantes

e garantir a qualidade pura dos gases que fluem pelas linhas de fabricação.

Existem muitos recursos e benefícios excelentes dos filtros de metal sinterizado

1. Fabricado em um ambiente de sala limpa de última geração

Esses filtros nascem em uma sala limpa de última geração, um ambiente onde condições imaculadas são meticulosamente mantidas para minimizar qualquer contaminação potencial. Eles passam por um rigoroso processo de fabricação, começando com uma soldagem de precisão sob atmosfera de ar purificado. Uma lavagem subsequente com água deionizada, seguida por uma purga de nitrogênio filtrado de alta pressão, elimina quaisquer partículas remanescentes e reduz o risco de derramamento de partículas.

2. Eficiência excepcional na remoção de partículas

Com uma notável eficiência de filtração de 9 LRV para partículas de 0,003 μm, aderindo aos rigorosos padrões estabelecidos pelos métodos de teste SEMI F38 e ISO 12500, esses filtros removem efetivamente quaisquer partículas geradas por corrosão e partículas geradas por peças móveis, garantindo a pureza imaculada do gases.

3. Resistência Mecânica Superior

Rigorosamente testados para garantir resiliência excepcional em processos de fabricação exigentes e ambientes que frequentemente utilizam altas pressões de gás, esses filtros proporcionam desempenho inabalável durante toda a sua vida útil.

4. Excedendo os mais altos padrões da indústria

Superando os rigorosos requisitos de filtragem de manuseio de gás para processamento de semicondutores, esses filtros passam por testes rigorosos para garantir que atendam à eficiência crítica de filtragem, controle de fluxo preciso e padrões de segurança exigidos pelos sistemas de fornecimento de gás na fabricação de semicondutores.

5. Compromisso inabalável com a segurança

Para proteger contra a exposição a gases de processo inflamáveis, corrosivos, tóxicos e pirofóricos, as carcaças dos filtros passam por testes de vazamento meticulosos, garantindo que alcancem uma taxa de vazamento notável de menos de 1x10-9 atm scc/segundo. Este compromisso inabalável com a segurança garante que gases perigosos sejam contidos e impedidos de causar danos.

6. Pureza intransigente para excelência na fabricação de chips

Através de suas excepcionais capacidades de filtragem, compromisso inabalável com a segurança e adesão aos mais altos padrões da indústria, esses filtros de gás desempenham um papel fundamental na proteção do intrincado processo de fabricação de semicondutores. Eles são guardiões da pureza, garantindo que apenas os gases mais limpos fluam pelas linhas de produção, abrindo caminho para a criação de microchips de alto desempenho que alimentam o nosso mundo moderno.

Tipos de filtros semicondutores

Os filtros semicondutores são usados ​​em diversas aplicações, incluindo:

* Fabricação de eletrônicos:

Filtros semicondutores são usados ​​para remover partículas de água ultrapura, gases e produtos químicos usados ​​na fabricação de semicondutores.

* Planarização químico-mecânica (CMP):

Filtros semicondutores são usados ​​para remover partículas de pastas CMP, que são usadas para polir wafers semicondutores.

* Biomédico:

Filtros semicondutores são usados ​​para remover partículas de fluidos usados ​​em diagnósticos e tratamentos médicos.

* Ambiental:

Filtros semicondutores são usados ​​para remover partículas do ar e da água.

Existem quatro tipos principais de filtros semicondutores:

1. Filtros de membrana:

Os filtros de membrana são feitos de uma película fina e porosa que permite a passagem de fluidos enquanto retém partículas.

 

Filtros de membrana para semicondutores

 

 

2. Filtros de profundidade:

Os filtros de profundidade são feitos de um leito espesso e tortuoso de material que retém as partículas à medida que fluem através do filtro.

 

Filtros de profundidade para semicondutores

 

 

3. Filtros adsorventes:

Os filtros adsorventes são feitos de um material que atrai e retém as partículas.

 

 Filtros adsorventes para semicondutores

 

 

4. Filtros de metal sinterizado

Filtros de metal sinterizado são um tipo de filtro de profundidade comumente usado na fabricação de semicondutores. Eles são feitos pela sinterização de pó metálico fino em uma estrutura porosa. Os filtros de metal sinterizado são conhecidos por sua alta durabilidade, alta eficiência de filtração e capacidade de suportar altas temperaturas e pressões.

Vantagens dos filtros metálicos sinterizados para fabricação de semicondutores:

* Alta durabilidade:

Os filtros de metal sinterizado são muito duráveis ​​e podem suportar condições operacionais adversas, incluindo altas temperaturas, pressões e produtos químicos corrosivos.

 

* Alta eficiência de filtração:

Filtros de metal sinterizado podem remover partículas de até 0,01 mícron de tamanho, o que é essencial para proteger componentes semicondutores delicados contra contaminação.

* Longa vida útil:

Os filtros de metal sinterizado têm uma longa vida útil e podem ser facilmente limpos e reutilizados.

* Compatibilidade química:

Os filtros de metal sinterizado são compatíveis com uma ampla gama de produtos químicos, tornando-os adequados para uso em diversos processos de fabricação de semicondutores.

Aplicações de filtros metálicos sinterizados na fabricação de semicondutores:

* Purificação de gás:

Filtros de metal sinterizado são usados ​​para purificar gases usados ​​na fabricação de semicondutores, como nitrogênio, hidrogênio e oxigênio.

* Filtragem química:

Filtros de metal sinterizado são usados ​​para filtrar produtos químicos usados ​​na fabricação de semicondutores, como ácidos, bases e solventes.

* Filtragem de água ultrapura:

Filtros de metal sinterizado são usados ​​para filtrar água ultrapura usada na fabricação de semicondutores.

* Filtração de pasta CMP:

Filtros de metal sinterizado são usados ​​para filtrar pastas CMP, que são usadas para polir wafers semicondutores.

Os filtros de metal sinterizado são uma parte essencial do processo de fabricação de semicondutores, ajudando a garantir a produção de dispositivos semicondutores de alta qualidade.

 

O tipo de filtro semicondutor usado em uma aplicação específica depende do tamanho das partículas removidas, do tipo de fluido filtrado e do nível desejado de filtração.

Aqui está uma tabela que resume os diferentes tipos de filtros semicondutores:

Tipo de filtro	Descrição	Aplicações	Imagem
Filtros de membrana	Feito de uma película fina e porosa que permite a passagem de fluidos enquanto retém partículas.	Fabricação de eletrônicos, CMP, biomédica, ambiental	Filtros de membrana para semicondutores
Filtros de profundidade	Feito de um leito de material espesso e tortuoso que retém as partículas à medida que fluem através do filtro.	CMP, biomédica, ambiental	Filtros de profundidade para semicondutores
Filtros adsorventes	Feito de um material que atrai e retém partículas.	Fabricação de eletrônicos, CMP, biomédica, ambiental	Filtros adsorventes para semicondutores
Filtros de metal sinterizado	Feito pela sinterização de pó metálico fino em uma estrutura porosa.	Purificação de gás, filtração química, filtração de água ultrapura, filtração de lama CMP	Abre em uma nova janelawww.hengko.com Filtros de metal sinterizado para semicondutores

Aplicativo

Filtros de gás semicondutores de metal sinterizado são amplamente utilizados em uma variedade de aplicações na indústria de semicondutores. Suas propriedades únicas, como alta eficiência de filtração, durabilidade e capacidade de suportar altas temperaturas e pressões, fazem deles um componente essencial dos sistemas de fornecimento de gás na fabricação de semicondutores.

Aqui estão algumas das aplicações específicas de filtros de gás semicondutores de metal sinterizado:

1. Produção de bolachas:

Filtros de metal sinterizado são usados ​​para purificar gases usados ​​na produção de wafers, como nitrogênio, hidrogênio e oxigênio. Esses gases são essenciais para processos como crescimento epitaxial, ataque químico e dopagem.

2. Filtragem química:

Filtros de metal sinterizado são usados ​​para filtrar produtos químicos usados ​​na fabricação de semicondutores, como ácidos, bases e solventes. Esses produtos químicos são usados ​​para diversos fins, incluindo limpeza, gravação e polimento.

3. Filtragem de água ultrapura:

Filtros de metal sinterizado são usados ​​para filtrar água ultrapura (UPW) usada na fabricação de semicondutores. UPW é essencial para limpar e enxaguar wafers, bem como para preparar produtos químicos.

4. Filtração de pasta CMP:

Filtros de metal sinterizado são usados ​​para filtrar pastas CMP, que são usadas para polir wafers semicondutores. CMP é um processo crítico na fabricação de microchips.

5. Filtragem no ponto de uso (POU):

Filtros de metal sinterizado são frequentemente usados ​​como filtros POU, que são instalados diretamente no ponto de uso para fornecer o mais alto nível de filtragem. Os filtros POU são particularmente importantes para aplicações onde a pureza do gás é crítica, como na fabricação de microprocessadores e outros dispositivos de alto desempenho.

6. Manuseio de gás de alta pureza:

Filtros de metal sinterizado são usados ​​em sistemas de manuseio de gases de alta pureza para remover contaminantes de gases usados ​​na fabricação de semicondutores. Esses contaminantes podem incluir partículas, umidade e compostos orgânicos.

7. Fabricação de microeletrônica:

Filtros metálicos sinterizados são utilizados na fabricação de microeletrônica, como computadores, tablets, telefones celulares, sensores IoT e dispositivos de controle.

8. Filtragem de sistemas microeletromecânicos (MEMS):

Filtros de metal sinterizado são usados ​​na filtração MEMS, que é o processo de remoção de contaminantes de sistemas microeletromecânicos. MEMS são usados ​​em uma variedade de aplicações, incluindo sensores, atuadores e transdutores.

9. Filtragem do dispositivo de armazenamento de dados:

Filtros de metal sinterizado são usados ​​na filtragem de dispositivos de armazenamento de dados, que é o processo de remoção de contaminantes de dispositivos de armazenamento de dados, como discos rígidos e unidades de estado sólido.

Além dessas aplicações específicas, os filtros de gás semicondutores de metal sinterizado também são usados ​​em diversas outras aplicações na indústria de semicondutores. Sua versatilidade e confiabilidade fazem deles uma ferramenta essencial para fabricantes de semicondutores.

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