Sensor de Temperatura e Umidade para Esquema de Controle de Umidade e Temperatura de Sala Limpa de Semicondutores
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A temperaturaea umidade do espaço limpo é determinada principalmente de acordo com os requisitos do processo, mas sob a condição de atender aos requisitos do processo, a sensação de conforto deve ser levada em consideração.Com a melhoria dos requisitos de limpeza do ar, tem havido uma tendência de requisitos cada vez mais rigorosos de temperatura e umidade.
Como a precisão do processamento é cada vez mais fina, a faixa de flutuação de temperatura é cada vez menor.Por exemplo, no processo de exposição litográfica da produção de circuitos integrados em larga escala, a diferença do coeficiente de expansão térmica entre o vidro e o wafer de silício como material de máscara deve ser cada vez menor.Bolacha de silício de 100 um de diâmetro, aumento de temperatura de 1 grau, causará expansão linear de 0,24um, portanto, deve haver uma temperatura de ± 0,1 grau, ao mesmo tempo em que o valor da umidade é geralmente baixo, porque as pessoas suam, o produto terá poluição, especialmente medo de oficina de semicondutores de sódio, esta oficina não deve exceder 25 graus.
Alta umidade causa mais problemas.Quando a umidade relativa for superior a 55%, formará orvalho na parede da tubulação de água de resfriamento, o que causará vários acidentes se ocorrer em dispositivos ou circuitos de precisão.Quando a umidade relativa é de 50%, é fácil enferrujar.Além disso, quando a umidade é muito alta, a poeira presa na superfície do chip de silício será adsorvida quimicamente na superfície para resistir à remoção.Quanto maior a umidade relativa, a adesão é difícil de remover, mas quando a umidade relativa é inferior a 30%, as partículas são facilmente adsorvidas na superfície devido à ação da força eletrostática, e um grande número de dispositivos semicondutores é propenso a colapso.A faixa de temperatura ideal para a produção de wafer é de 35 a 45%.
Portanto, o controle de temperatura e umidade é particularmente importante, a HENGKO pode fornecer uma série desoluções de processamento personalizadas de transmissores de temperatura e umidade!
Sensor de Temperatura e Umidade para Esquema de Controle de Umidade e Temperatura de Sala Limpa de Semicondutores
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